-
Al2O3 செராமிக் வேஃபர் சக்கின் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட செயலாக்கம்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
ST.CERA தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி உபகரண பீங்கான் தகடு
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
300 மிமீ வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கான 12-அங்குல அலுமினா வெற்றிட சக்
செயின்ட் செராவின் 12-அங்குல வெற்றிடச் சக்கரம், 300 மிமீ வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்காக 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தச் சக்கரம், 300 மிமீ விட்டம் முழுவதும் சீரான வெற்றிடப் பரவலை உறுதி செய்வதற்காக, நுண்ணிய பள்ளங்கள் கொண்ட மேற்பரப்பைக் (பள்ளங்களின் அகலம் 0.5–1.0 மிமீ, இடைவெளி 2–3 மிமீ) கொண்டுள்ளது. இதன் தட்டையான தன்மை 5 μm-க்குள் பராமரிக்கப்படுவதால், வெட்டுதல், பின்புற அரைத்தல் மற்றும் ஆய்வு செய்தல் போன்ற செயல்பாடுகளின் போது வளைவு இல்லாத வேஃபர் நிலைநிறுத்தலைச் சாத்தியமாக்குகிறது. இந்தப் பொருளின் உயர் வளைவு வலிமை (361 MPa) மற்றும் கடினத்தன்மை (16 GPa) ஆகியவை, மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் வெற்றிடச் சுழற்சிகளின் கீழும் நீண்ட காலப் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கின்றன.
-
குறைக்கடத்தி ஆய்வு உபகரணங்களுக்கான பீங்கான் உதிரி பாகங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
பீங்கான் தகடு குறைக்கடத்தி உபகரண கேரியர்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
உயர் வெப்பநிலை அறைகளை அடைப்பதற்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் சீல் வளையம்
செயின்ட் செராவின் செராமிக் சீல் ரிங், எலாஸ்டோமர்கள் சிதைவடையும் கடுமையான சூழல்களில் பாலிமர் ஓ-ரிங்குகளுக்கு மாற்றாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இந்த உறுதியான சீல் ரிங், நிலையான சீலிங் பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது — பொதுவாக ஒரு மென்மையான உலோகம் அல்லது கிராஃபைட் கேஸ்கெட்டுடன் இணைக்கப்பட்டு — 800°C வரையிலான வெப்பநிலையிலும், தீவிரமான பிளாஸ்மா அல்லது இரசாயன சூழல்களிலும் நம்பகமான வெற்றிடம் அல்லது வாயுத் தடுப்பை வழங்குகிறது. இந்த பொருள் வாயு வெளியேற்றம் அற்ற தன்மை, உயர் அமுக்க வலிமை (அடிப்படை வளைவு வலிமை 361 MPa), மற்றும் இரசாயன மந்தத்தன்மை (HF தவிர ஹாலோஜன்கள், அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது) ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. துல்லியமாக மெருகூட்டப்பட்ட சீலிங் பரப்புகள் (தட்டைத்தன்மை ≤5 μm, மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு Ra ≤0.2 μm) இணையும் உலோகம் அல்லது செராமிக் பாகங்களுடன் கசிவு இல்லாத தொடர்பை உறுதி செய்கின்றன.
-
பிளாஸ்மா எட்ச் மற்றும் CVD அமைப்புகளுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா சேம்பர் ஃபோகஸ் ரிங்
செயின்ட்.செராவின் சேம்பர் ஃபோகஸ் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா எட்ச், CVD மற்றும் PVD குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான செயல்முறைக் கருவித் தொகுப்புக் கூறு ஆகும். 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இந்த வளையம், பிளாஸ்மாவை ஒருமுகப்படுத்தவும் அயனிகளின் கோணப் பரவலை மேம்படுத்தவும் வேஃபரின் விளிம்பைச் சுற்றி அமைகிறது. இதன் மூலம், வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுவதும் எட்ச் சீரான தன்மையை இது மேம்படுத்துகிறது. இந்த மூலப்பொருள், விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன், உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m) மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இது, தீவிரமான ஃப்ளோரின் அல்லது குளோரின் அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா சூழல்களில் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமாக அரைக்கப்பட்ட உள்/வெளி விட்டம் மற்றும் தட்டையான தன்மை (≤10 μm) ஆகியவை வேஃபரின் விளிம்பைத் துல்லியமாக நிலைநிறுத்த உதவுகின்றன. இது விளிம்புக் குறைபாடுகளையும் துகள் உருவாக்கத்தையும் குறைக்கிறது.
-
CVD / PVD செயல்முறை அறைகளுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் வளையம்
செயின்ட்.செராவின் செராமிக் வளையம், CVD (கெமிக்கல் வேப்பர் டெபாசிஷன்) மற்றும் PVD (பிசிக்கல் வேப்பர் டெபாசிஷன்) செயல்முறை அறைகளில் பயன்படுத்துவதற்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 99.8% உயர்-தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இந்த வளையம், பிளாஸ்மாவை ஒருமுகப்படுத்தவும், அறைச் சுவர்களை அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கவும் ஒரு அறை லைனர், ஃபோகஸ் ரிங் அல்லது செயல்முறை கிட் கூறாகப் பயன்படுகிறது. இந்த பொருள் சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன், உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m) மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது தீவிரமான ஃப்ளோரின் அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா சூழல்களில் நீண்ட சேவை ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை (உள்/வெளி விட்டம் ±0.05 மிமீ) மற்றும் தட்டையான தன்மை (≤10 μm) ஆகியவை சீரான வேஃபர் விளிம்பு நிலைப்படுத்தலை செயல்படுத்துகின்றன, இது படிவு சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் துகள் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கிறது.
-
வளைந்த வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கான நுண்துளைகள் கொண்ட செராமிக் வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் நுண்துளை செராமிக் சக், உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது 30–45% சீரான திறந்த நுண்துளைத்தன்மையையும், 10 முதல் 100 μm வரையிலான நுண்துளை அளவுகளையும் கொண்டுள்ளது. வழக்கமான பள்ளம் கொண்ட சக்குகளைப் போலல்லாமல், இதன் நுண்துளை மேற்பரப்பு, வேஃபரின் பின்புறம் முழுவதும் பரவலான வெற்றிடத்தை வழங்குகிறது. இதனால், வளைந்த, மெல்லிய அல்லது தனித்தனிப் பகுதிகள் கொண்ட வேஃபர்களை, விளிம்புகள் கழன்று விழாமலோ அல்லது உடையாமலோ திறம்படப் பிடித்துக் கொள்கிறது. இந்த மென்மையான வெற்றிடம் (ரெஸ்ட்ரிக்டர் மூலம் சரிசெய்யக்கூடியது), பின்புறத்தில் அடையாளங்கள் ஏற்படுவதையும் தடுக்கிறது.
-
மெல்லிய வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கான அலுமினா அடிப்படையிலான நுண்துளை செராமிக் வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் அலுமினா அடிப்படையிலான நுண்துளைப் பிடிப்பான், 99.6% உயர் தூய்மையான Al₂O₃-இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது. இது 30–45% வரையிலான கட்டுப்படுத்தப்பட்ட திறந்த நுண்துளைத்தன்மையையும், 10 முதல் 50 μm வரையிலான சீரான நுண்துளை அளவையும் கொண்டுள்ளது. பள்ளம் கொண்ட பிடிப்பான்களைப் போலல்லாமல், இதன் நுண்துளை மேற்பரப்பானது முழு வேஃபர் பின்புறத்திலும் பரவலான வெற்றிடத்தை வழங்குகிறது. இது விளிம்புகளில் அடையாளங்கள் ஏற்படுவதைத் தடுத்து, மிக மெல்லிய (≤100 μm) அல்லது வளைந்த வேஃபர்களை மென்மையாகப் பிடிக்க உதவுகிறது. இந்தப் பொருள் ≥250 MPa வளைவு வலிமையையும், காற்றில் 400°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மையையும் வழங்குகிறது.
-
CVD/PVD ஷவர்ஹெட்டிற்கான அலுமினா வாயு விநியோகத் தகடு
செயின்ட் செராவின் வாயு விநியோகத் தகடு (ஷவர்ஹெட்), உயர் தூய்மையான 99.8% அலுமினா செராமிக்கிலிருந்து துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டுள்ளது. CVD, PVD, அல்லது ALD செயல்முறைகளின் போது வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதிசெய்யும் நுண்ணிய துளைகளின் (விட்டம் 0.3–1.5 மிமீ) வரிசையை இது கொண்டுள்ளது. இந்தத் தகட்டின் உயர் மின்காப்பு வலிமை (>15×10⁶ V/m) மற்றும் பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவை, குறைக்கடத்தி மென்படலப் படிவுக்கு இதை இன்றியமையாததாக ஆக்குகின்றன.
