வளைந்த வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கான நுண்துளைகள் கொண்ட செராமிக் வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் நுண்துளை செராமிக் சக், உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது 30–45% சீரான திறந்த நுண்துளைத்தன்மையையும், 10 முதல் 100 μm வரையிலான நுண்துளை அளவுகளையும் கொண்டுள்ளது. வழக்கமான பள்ளம் கொண்ட சக்குகளைப் போலல்லாமல், இதன் நுண்துளை மேற்பரப்பு, வேஃபரின் பின்புறம் முழுவதும் பரவலான வெற்றிடத்தை வழங்குகிறது. இதனால், வளைந்த, மெல்லிய அல்லது தனித்தனிப் பகுதிகள் கொண்ட வேஃபர்களை, விளிம்புகள் கழன்று விழாமலோ அல்லது உடையாமலோ திறம்படப் பிடித்துக் கொள்கிறது. இந்த மென்மையான வெற்றிடம் (ரெஸ்ட்ரிக்டர் மூலம் சரிசெய்யக்கூடியது), பின்புறத்தில் அடையாளங்கள் ஏற்படுவதையும் தடுக்கிறது.
விவரக்குறிப்புகள்(99.6% செயற்கை நுண்ணறிவை அடிப்படையாகக் கொண்டது)₂O₃):
| சொத்து | மதிப்பு |
| நுண்துளைத்தன்மை | 30–45% |
| சராசரி துளை அளவு | 10–100 μm (தேர்ந்தெடுக்கக்கூடியது) |
| வளைவு வலிமை | ≥250 MPa |
| தட்டையான தன்மை (300 மிமீக்கு மேல்) | ≤5 μm |
| மேற்பரப்பு பூச்சு | மடிந்த (Ra 0.8 μm) |
| அதிகபட்ச வெற்றிட நிலை | -80 kPa |
| இயக்க வெப்பநிலை | 400°C (காற்று), 600°C (மந்தநிலை) |
| பொருள் | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, அல்லது SiC |
விண்ணப்பங்கள்:
மெல்லிய வேஃபர் (≤50 μm) பின்புற அரைத்தல்
சிறு துண்டுகளாக வெட்டுவதற்காக வளைந்த வேஃபர் பொருத்துதல்
டேப்பிலிருந்து ஒற்றை அச்சு எடுக்கும் முறை
கண்ணாடித் தகடு கையாளுதல்
உற்பத்தி மற்றும் தரம்:
பீங்கான் தூள், கரிமத் துளை உருவாக்கிகளுடன் கலக்கப்பட்டு → அழுத்தப்பட்டு → உருக்கி இணைக்கப்பட்டு → இறுதித் தடிமனுக்குத் தேய்த்து மெருகேற்றப்படுகிறது. ஒவ்வொரு அச்சும் வெற்றிடச் சீர்மைக்காக (≤5% விலகல்) பாய்வுச் சோதனைக்கு உட்படுத்தப்பட்டு, துளை அளவுப் பரவலுக்காக (SEM) ஆய்வு செய்யப்படுகிறது. தட்டையான தன்மை லேசர் குறுக்கீட்டுமானி மூலம் அளவிடப்படுகிறது.
பள்ளம் கொண்ட சக்குகளை விட நன்மைகள்:
வேஃபர் விளிம்பில் குறியோ அல்லது டை நகர்வோ இல்லை
வளைந்த வேஃபர்களைத் தாங்கும் (500 μm வரை வளைவு).
வெற்றிடத் துளை அடைப்பை நீக்குகிறது
மெல்லிய அடி மூலக்கூறுகளுக்கான சுய-சமநிலைப்படுத்தும் ஆதரவு
தனிப்பயனாக்கம்:
வட்ட அல்லது செவ்வக வடிவங்கள், 600 மிமீ வரையிலான அளவில். நாங்கள் விளிம்பு சீலிங் வளையங்கள் அல்லது மண்டல வெற்றிடப் பிரிப்பான்களைப் பொருத்த முடியும். அதிக விறைப்புத்தன்மை தேவைகளுக்காக, உலோகப் பின்புலம் கொண்ட பதிப்புகளும் கிடைக்கின்றன.
உங்கள் வேஃபர் அளவு மற்றும் வளைவுச் சோதனைக்காக ஒரு மாதிரியைக் கோருங்கள்.
