CVD/PVD ஷவர்ஹெட்டிற்கான அலுமினா வாயு விநியோகத் தகடு
செயின்ட் செராவின் வாயு விநியோகத் தகடு (ஷவர்ஹெட்), உயர் தூய்மையான 99.8% அலுமினா செராமிக்கிலிருந்து துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டுள்ளது. CVD, PVD, அல்லது ALD செயல்முறைகளின் போது வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதிசெய்யும் நுண்ணிய துளைகளின் (விட்டம் 0.3–1.5 மிமீ) வரிசையை இது கொண்டுள்ளது. இந்தத் தகட்டின் உயர் மின்காப்பு வலிமை (>15×10⁶ V/m) மற்றும் பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவை, குறைக்கடத்தி மென்படலப் படிவுக்கு இதை இன்றியமையாததாக ஆக்குகின்றன.
விவரக்குறிப்புகள்:
| சொத்து | மதிப்பு |
| பொருள் | 99.8% Al₂O₃ அல்லது SiC |
| விட்டம் | 100 – 1500 மிமீ (வட்டம்) அல்லது செவ்வகம் |
| தடிமன் | 5 – 20 மிமீ |
| துளை விட்டம் | 0.3 – 1.5 மிமீ |
| துளை அமைப்பு | தனிப்பயன் (முக்கோணம், சதுரம், ஆரவடிவம்) |
| தட்டையான தன்மை | முழுப் பரப்பிலும் ≤10 μm |
| மேற்பரப்பு கரடுமுரடு | Ra ≤0.6 μm (வாயுப் பக்கம்) |
| திறந்த பகுதி விகிதம் | 5–15% |
விண்ணப்பங்கள்:
PECVD ஷவர்ஹெட் பிளேட்டுகள்
ALD வாயு உட்செலுத்திகள்
அறை வாயு விநியோகத் தகடுகளை செதுக்கு
MOCVD உலை கூறுகள்
உற்பத்தி:
அலுமினா அடித்தளம் தட்டையாக மெருகேற்றப்படுதல் → வைரப்பூச்சு கருவிகளைக் கொண்டு CNC துளையிடுதல் (துளை நிலை சகிப்புத்தன்மை ±0.02 மிமீ) → கூர்முனைகளை அகற்றுதல் → மீயொலி மூலம் சுத்தம் செய்தல் → வகுப்பு 100 பொதியிடல்.
தரக் கட்டுப்பாடு:
ஒவ்வொரு தகடும் துளையின் அளவு (விஷன் சிஸ்டம்), சமதளம் (லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்) மற்றும் வாயு ஓட்டத்தின் சீரான தன்மை (பிரஷர் மேப்பிங்) ஆகியவற்றுக்காக 100% பரிசோதிக்கப்படுகிறது. 20x நுண்ணோக்கியின் கீழ் நுண் விரிசல்கள் எதுவும் இல்லை.
உலோகத் தகடுகளைக் காட்டிலும் உள்ள நன்மைகள்:
மெல்லிய படலங்களில் உலோகக் கலப்படம் இல்லை
குறைந்த துகள் உருவாக்கம் (அரிப்புத் துகள்கள் இல்லை)
தீவிரமான சுத்திகரிப்பு பிளாஸ்மாக்களை (CF₄, NF₃) தாங்கக்கூடியது.
தனிப்பயன் அம்சங்கள்:
பின்புற வாயு வழித்தடங்கள், எதிர் துளையிடப்பட்ட துவாரங்கள், விளிம்பு முத்திரைகள் மற்றும் வெவ்வேறு தரத்திலான பொருட்கள் (அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறனுக்கான SiC, பிளாஸ்மா எதிர்ப்புக்கான Y₂O₃ பூச்சு).
உற்பத்திக்கு முன்னர் நாங்கள் CAD சரிபார்ப்பு மற்றும் செயல்முறை உருவகப்படுத்துதலை வழங்குகிறோம்.
