குறைக்கடத்தி செயல்முறை பொருத்துதல்களுக்கான பீங்கான் ஆதரவு முள்
செயின்ட் செராவின் செராமிக் தாங்கு ஊசிகள் (லிஃப்ட் பின்கள் அல்லது சப்போர்ட் பின்கள் என்றும் அழைக்கப்படுகின்றன) குறைக்கடத்தி செயல்முறை அறைகளில், கையாளும்போதும், சூடாக்கும்போதும் அல்லது குளிர்விக்கும்போதும் வேஃபர்கள் அல்லது சப்ஸ்ட்ரேட்களை உயர்த்துவதற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. 99.8% அலுமினா அல்லது சிலிக்கான் நைட்ரைடிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இந்த ஊசிகள், உயர் அழுத்த வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத்திறனை வழங்குகின்றன. இதன் அரைக்கோள அல்லது தட்டையான முனை வடிவமைப்பு, வேஃபரில் கீறல்கள் ஏற்படுவதைத் தடுக்கிறது.
விவரக்குறிப்புகள்(அலுமினா 99.8%):
| சொத்து | மதிப்பு |
| பொருள் | 99.8% Al₂O₃ அல்லது Si₃N₄ |
| நீளம் | 10 – 100 மிமீ |
| விட்டம் | 1 – 10 மிமீ |
| முனை வடிவம் | தட்டையான, அரைக்கோள, கூர்மையான |
| அழுத்த வலிமை (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை (Al₂O₃) | 1600°C |
| மேற்பரப்பு பூச்சு | மடிந்த (Ra ≤0.4 μm) |
| விட்டத்தின் மீதான சகிப்புத்தன்மை | ±0.01 மிமீ |
விண்ணப்பங்கள்:
CVD/PVD அறைகளில் உள்ள லிஃப்ட் பின்கள்
ஹாட்பிளேட் பேக்கிங்கிற்கான ஆதரவு முள்
ஆய்வு அட்டை ஆதரவு கட்டமைப்பு
குவார்ட்ஸ் உலை படகு தாங்கிகள்
உற்பத்தி:
வெளி விட்டத்தின் துல்லியமான சென்டர்லெஸ் அரைத்தல் → முனை வடிவத்தின் வைர அரைத்தல் → மீயொலி சுத்தம் செய்தல் → 100% பரிமாண ஆய்வு.
தரக் கட்டுப்பாடு:
நீளம்/விட்டம் அளவிட CMM, முனை ஆரம் அளவிட ஒளியியல் ஒப்பீட்டுக் கருவி, அமுக்க வலிமையைச் சரிபார்க்க சுமை சோதனை (ஒவ்வொரு தொகுதியிலிருந்தும் ஒரு மாதிரி). ஃபெரோகாந்த மாசு இல்லை (காந்தம் கொண்டு சரிபார்க்கப்பட்டது).
உலோகம் அல்லது குவார்ட்ஸ் ஊசிகளைக் காட்டிலும் உள்ள நன்மைகள்:
துருப்பிடிக்காத எஃகை விட 5 மடங்கு அதிக ஆயுட்காலம்
செயல்முறை அறையில் உலோகக் கலப்படம் இல்லை
குவார்ட்ஸை விட அதிக வெப்பநிலை தாங்கும் திறன் (1600°C vs 1100°C)
ஒட்டாத மேற்பரப்பு (குறைக்கப்பட்ட துகள் ஒட்டுதல்)
தனிப்பயனாக்கம்:
பல்வேறு முனை வடிவங்கள், திருகு பொருத்தப்பட்ட அடித்தளம், அல்லது கூம்பு வடிவத் தண்டு.
தீவிர பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கான SiC பின்களையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
