டெஃப்லான் பூசப்பட்ட செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் – நுட்பமான வேஃபர் கையாளுதலுக்கான ஒட்டாத மேற்பரப்பு

செயின்ட்.செராவின் டெஃப்லான் (PTFE) பூசப்பட்ட செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், அதிக வலிமை கொண்ட அலுமினா அடிதளத்தை, சீரான மற்றும் குறைந்த உராய்வு கொண்ட PTFE பூச்சுடன் (தடிமன் 15–30 μm) இணைக்கிறது. இந்தப் பூச்சு, மிகக் குறைந்த உராய்வுக் குணகம் (≤0.1), சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் ஒட்டாத பண்புகளை வழங்குகிறது. இது வேஃபர் ஒட்டுவதைத் தடுத்து, பின்புற அசுத்தத்தையும் நீக்குகிறது. இதன் அடிப்படையான செராமிக் அடிதளம் (99.8% Al₂O₃), அதிக வளைவு வலிமை (361–1000 MPa), தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் 260°C வரை (பூச்சின் வரம்பு) வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த எண்ட் எஃபெக்டர், மென்மையான, மெல்லிய அல்லது ஒட்டும் தன்மை கொண்ட வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கு மிகவும் ஏற்றது (உதாரணமாக, போட்டோரெசிஸ்ட் பூச்சு அல்லது இரசாயன செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு).

விவரக்குறிப்புகள் (PTFE பூச்சுடன் கூடிய 99.8% Al₂O₃ அடித்தளத்தை அடிப்படையாகக் கொண்டது):

குறிப்பு: PTFE பூச்சு அதிகபட்ச வெப்பநிலையை 260°C ஆகக் கட்டுப்படுத்துகிறது; அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு, பூச்சு இல்லாத செராமிக் அல்லது பிற பூச்சுகளைப் பரிசீலிக்கவும்.

விண்ணப்பங்கள்:

• · போட்டோரெசிஸ்ட் பூச்சுக்குப் பிறகு வேஃபர்களைக் கையாளுதல் (ஒட்டும் தன்மையுள்ள மேற்பரப்புகள்)
• · மெல்லிய அல்லது உடையக்கூடிய வேஃபர்களை இடமாற்றம் செய்தல் (ஒட்டிக்கொள்வதைத் தடுக்கிறது)
• · குறைக்கடத்தி ஆய்வு மற்றும் அளவியல் கருவிகள்
• · துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க வேண்டிய தூய்மை அறை தானியக்கம்

உற்பத்தி செயல்முறை:

பீங்கான் அடிமூலக்கூறு உருக்கி இணைக்கப்பட்டுத் துல்லியமாக அரைக்கப்படுகிறது → மேற்பரப்பு சொரசொரப்பாக்கம் (பிளாஸ்மா அரிப்பு அல்லது மணல் தெளிப்பு) → PTFE தெளிப்புப் பூச்சு → 380°C வெப்பநிலையில் வெப்பப் பதப்படுத்துதல் → இறுதி ஆய்வு. ஒவ்வொரு முனைச் செயல்படுவானும் பூச்சின் தடிமன் (சுழல் மின்னோட்டம்), ஒட்டுதல் (குறுக்குவெட்டுச் சோதனை ASTM D3359) மற்றும் உராய்வுக் குணகம் ஆகியவற்றிற்காகச் சரிபார்க்கப்படுகிறது.

தரக் கட்டுப்பாடு:

ஊசித் துளைகள் அல்லது குமிழ்கள் உள்ளதா என 100% கண்ணால் பார்த்து ஆய்வு செய்தல்; பூச்சின் தடிமன் ±5 μm வரம்பிற்குள் சீராக இருத்தல்; மாதிரித் துண்டில் 90° வளைவுச் சோதனைக்குப் பிறகு பூச்சுப் பிரிதல் ஏற்படாமல் இருத்தல். OEM தரநிலைகளுக்கு ஏற்ப பரிமாணச் சரிபார்ப்பு (நீளம் ±0.05 மிமீ, தட்டையான தன்மை ≤0.1 மிமீ).

பூச்சு இல்லாத அல்லது பிற பூச்சுகளைக் காட்டிலும் உள்ள நன்மைகள்:

• · ஒட்டாத மேற்பரப்பு வேஃபர் ஒட்டுவதையும் உடைவதையும் தடுக்கிறது.
• • பீங்கான் பூச்சுகளில் மிகக் குறைந்த உராய்வுக் குணகம்
• · சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன் (அமிலங்கள், காரங்கள், கரைப்பான்கள்)
• · பொருள் பரிமாற்றத்தைத் தடுப்பதன் மூலம் துகள் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கிறது

வரம்புகள் (பொருள் விலகல் குறித்த குறிப்புகள்):

PTFE பூச்சானது, வழங்கப்பட்ட மூலப்பொருள் பண்பு அட்டவணைகளிலிருந்து (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) பெறப்படவில்லை. அடி மூலக்கூறின் பண்புகள், வழங்கப்பட்ட தரவுத்தாளை (99.8% Al₂O₃) கண்டிப்பாகப் பின்பற்றுகின்றன. பூச்சுத் தரவுகள் எதுவும் வழங்கப்படாததால், பூச்சின் பண்புகள் தொழில்துறை-தரநிலை PTFE விவரக்குறிப்புகளை அடிப்படையாகக் கொண்டவை. 260°C-க்கு மேற்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு, பூச்சு இல்லாத செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது.*

தனிப்பயனாக்கம்:

150–1500 மிமீ நீளங்களிலும், முனை வடிவங்களிலும் (விளிம்புப் பிடிப்பு, பெர்னூலி, தட்டையானது), OEM வரைபடத்தின்படி பொருத்தும் விளிம்பு வடிவங்களிலும் கிடைக்கின்றன. பகுதிப் பூச்சு (தொடர்புப் பகுதிகளில் மட்டும்) அல்லது முழுப் பூச்சு விருப்பத்தேர்வு.

ஒட்டுதல் மற்றும் உராய்வு சோதனைக்காக ஒரு மாதிரியைக் கோருங்கள்.