CVD / PVD செயல்முறை அறைகளுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் வளையம்

செயின்ட்.செராவின் செராமிக் வளையம், CVD (கெமிக்கல் வேப்பர் டெபாசிஷன்) மற்றும் PVD (பிசிக்கல் வேப்பர் டெபாசிஷன்) செயல்முறை அறைகளில் பயன்படுத்துவதற்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 99.8% உயர்-தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இந்த வளையம், பிளாஸ்மாவை ஒருமுகப்படுத்தவும், அறைச் சுவர்களை அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கவும் ஒரு அறை லைனர், ஃபோகஸ் ரிங் அல்லது செயல்முறை கிட் கூறாகப் பயன்படுகிறது. இந்த பொருள் சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன், உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m) மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது தீவிரமான ஃப்ளோரின் அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா சூழல்களில் நீண்ட சேவை ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை (உள்/வெளி விட்டம் ±0.05 மிமீ) மற்றும் தட்டையான தன்மை (≤10 μm) ஆகியவை சீரான வேஃபர் விளிம்பு நிலைப்படுத்தலை செயல்படுத்துகின்றன, இது படிவு சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் துகள் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கிறது.

விவரக்குறிப்புகள் (99.8% Al₂O₃-ஐ அடிப்படையாகக் கொண்டது):

விண்ணப்பங்கள்:

• · CVD அறை குவிய வளையங்கள் மற்றும் விளிம்பு வளையங்கள்
• · PVD அறை கவச வளையங்கள் மற்றும் இறுக்கும் வளையங்கள்
• · அறை உள்வரிகள் மற்றும் மூடி வளையங்களை அரித்தல்
• · மின்காப்பு அரிப்பு அமைப்புகளில் பிளாஸ்மா அடைப்பு வளையங்கள்

உற்பத்தி செயல்முறை:

ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் → கிரீன் மெஷினிங் → 1600°C-ல் சின்டரிங் → CNC ID/OD அரைத்தல் → மேற்பரப்பு மெருகூட்டல் → மீயொலி சுத்தம் செய்தல் → 100% CMM ஆய்வு. மிகவும் மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு (Ra ≤0.4 μm) துகள் ஒட்டுதலைக் குறைக்கிறது.

தரக் கட்டுப்பாடு:

• • 100% பரிமாணச் சரிபார்ப்பு (உள் விட்டம், வெளி விட்டம், தடிமன், சமதளம்)
• · மேற்பரப்பு நுண் விரிசல்களுக்கான சாய ஊடுருவி ஆய்வு
• · ASTM D149 இன் படி மின்காப்பு வலிமை சோதனை
• · 20× நுண்ணோக்கியின் கீழ் பார்க்கும்போது நிறமாற்றமோ அல்லது நுண்துளைகளோ தென்படவில்லை.

உலோகம் அல்லது குவார்ட்ஸ் மோதிரங்களைக் காட்டிலும் உள்ள நன்மைகள்:

• · புளோரின் பிளாஸ்மாவில் அலுமினிய வளையங்களை விட 5–10 மடங்கு நீண்ட ஆயுட்காலம்
• · மெல்லிய படலங்களில் உலோகக் கலப்படம் இல்லை
• · குவார்ட்ஸை விட அதிக பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன் (அரிப்புக் குழிகள் இல்லை)
• · நீண்ட காலப் பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும் 10¹⁴ Ω·cm-க்கு மேற்பட்ட மின்காப்புத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது.

மாற்றுப் பொருள் — சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si)₃N₄):

மிக அதிக முறிவு உறுதித்தன்மை (6.2 MPa·m¹/²) மற்றும் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத்திறன் (விரிவாக்கக் குணகம் 3.2×10⁻⁶/℃) தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு, Si₃N₄ வளையங்கள் கிடைக்கின்றன. இருப்பினும், பெரும்பாலான CVD/PVD பயன்பாடுகளுக்கு அலுமினா அதிக செலவு குறைந்ததாகும். ஆர்டர் செய்யும்போது, ​​உங்களுக்கு விருப்பமான மூலப்பொருளைக் குறிப்பிடவும்.

தனிப்பயனாக்கம்:

• · பொருத்துவதற்கான ஊடுதுளைகள், படிநிலை வடிவங்கள் அல்லது எதிர் துளைகள்
• · மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா எதிர்ப்பிற்கான Y₂O₃ பூசப்பட்ட மேற்பரப்பு (விருப்பத்தேர்வு)
• · பாக எண் / தொகுதி குறியீட்டை லேசர் மூலம் பொறித்தல்

குறிப்பு:மேற்கண்ட தரவுகள், வழங்கப்பட்ட Al₂O₃ பண்பு அட்டவணையைத் துல்லியமாகப் பின்பற்றுகின்றன. Si₃N₄ வளையங்களுக்கு, தனியாக வழங்கப்பட்ட Si₃N₄ தரவுத்தாளைப் பார்க்கவும்.