300 மிமீ வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கான 12-அங்குல அலுமினா வெற்றிட சக்
செயின்ட் செராவின் 12-அங்குல வெற்றிடச் சக்கரம், 300 மிமீ வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்காக 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தச் சக்கரம், 300 மிமீ விட்டம் முழுவதும் சீரான வெற்றிடப் பரவலை உறுதி செய்வதற்காக, நுண்ணிய பள்ளங்கள் கொண்ட மேற்பரப்பைக் (பள்ளங்களின் அகலம் 0.5–1.0 மிமீ, இடைவெளி 2–3 மிமீ) கொண்டுள்ளது. இதன் தட்டையான தன்மை 5 μm-க்குள் பராமரிக்கப்படுவதால், வெட்டுதல், பின்புற அரைத்தல் மற்றும் ஆய்வு செய்தல் போன்ற செயல்பாடுகளின் போது வளைவு இல்லாத வேஃபர் நிலைநிறுத்தலைச் சாத்தியமாக்குகிறது. இந்தப் பொருளின் உயர் வளைவு வலிமை (361 MPa) மற்றும் கடினத்தன்மை (16 GPa) ஆகியவை, மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் வெற்றிடச் சுழற்சிகளின் கீழும் நீண்ட காலப் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கின்றன.
விவரக்குறிப்புகள் (99.8% Al₂O₃-ஐ அடிப்படையாகக் கொண்டு):
| சொத்து | மதிப்பு |
| விட்டம் | 300 மிமீ (12 அங்குலம்) |
| பொருள் | 99.8% அலுமினா (ஐவரி) |
| அடர்த்தி | 3.93 கி/செமீ³ |
| வளைவு வலிமை | 361 MPa |
| விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 16 ஜிபிஏ |
| தட்டையான தன்மை (300 மிமீக்கு மேல்) | ≤5 μm |
| பள்ளத்தின் அகலம் | 0.5–1.0 மிமீ |
| அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | 800°C |
| மின்காப்பு வலிமை | 15×10⁶ V/m |
விண்ணப்பங்கள்:
300மிமீ வேஃபர் டைசிங் மற்றும் ஸ்க்ரைபிங்
வேஃபர் பின்புற அரைத்தல் (மெல்லிய வேஃபர் ஆதரவு)
ஒளியியல் பரிசோதனை மற்றும் ஆய்வு
தற்காலிக பிணைப்பு/பிணைப்பு நீக்க சக்குகள்
உற்பத்தி:
CNC மூலம் இறுதித் தட்டையான நிலைக்கு அரைக்கப்பட்டு, வைரச் சக்கரங்களால் பள்ளங்கள் இடப்பட்டு, மீயொலி முறையில் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, வகுப்பு 100 தூய்மையான அறையில் பொதி செய்யப்படுகிறது. ஒவ்வொரு சக்கும் தட்டையான நிலை (லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்) மற்றும் பள்ளத்தின் ஆழம் (புரோஃபைலோமீட்டர்) ஆகியவற்றுக்காக 100% பரிசோதிக்கப்படுகிறது.
நன்மைகள்:
குறைந்த துகள் உருவாக்கம் (≤0.05 துகள்கள்/செ.மீ²)
கரைப்பான்கள் மற்றும் அமிலங்களுக்கு வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது
ESD-பாதுகாப்பான மேற்பரப்பு (மின்தடைத்திறன் >10¹³ Ω·cm)
விருப்பத்திற்கேற்ப வடிவமைக்கப்பட்ட வெற்றிடத் துளைகளும் பின்புறத் துளைகளும் கிடைக்கின்றன.
