பிளாஸ்மா எட்ச் மற்றும் CVD அமைப்புகளுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா சேம்பர் ஃபோகஸ் ரிங்

செயின்ட்.செராவின் சேம்பர் ஃபோகஸ் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா எட்ச், CVD மற்றும் PVD குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான செயல்முறைக் கருவித் தொகுப்புக் கூறு ஆகும். 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இந்த வளையம், பிளாஸ்மாவை ஒருமுகப்படுத்தவும் அயனிகளின் கோணப் பரவலை மேம்படுத்தவும் வேஃபரின் விளிம்பைச் சுற்றி அமைகிறது. இதன் மூலம், வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுவதும் எட்ச் சீரான தன்மையை இது மேம்படுத்துகிறது. இந்த மூலப்பொருள், விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன், உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m) மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இது, தீவிரமான ஃப்ளோரின் அல்லது குளோரின் அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா சூழல்களில் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமாக அரைக்கப்பட்ட உள்/வெளி விட்டம் மற்றும் தட்டையான தன்மை (≤10 μm) ஆகியவை வேஃபரின் விளிம்பைத் துல்லியமாக நிலைநிறுத்த உதவுகின்றன. இது விளிம்புக் குறைபாடுகளையும் துகள் உருவாக்கத்தையும் குறைக்கிறது.

விவரக்குறிப்புகள்(99.8% செயற்கை நுண்ணறிவை அடிப்படையாகக் கொண்டது)₂O₃):

விண்ணப்பங்கள்:

• · மின்காப்பு அரிப்பு அறை குவிய வளையங்கள் (ஆக்சைடு, நைட்ரைடு அரிப்பு)
• · சிலிக்கான் அரிப்பு அறை விளிம்பு வளையங்கள்
• · CVD சேம்பர் செயல்முறை கிட் வளையங்கள்
• · PVD அறை கவசம் மற்றும் பிடிப்பு வளையங்கள்

உற்பத்தி செயல்முறை:

உயர் தூய்மை அலுமினா தூள் ஐசோஸ்டாட்டிக்காக அழுத்தப்படுகிறது → ஏறக்குறைய இறுதி வடிவத்திற்கு பச்சை இயந்திரத்தில் செதுக்கப்படுகிறது → 1600°C-ல் உருக்கி இணைக்கப்படுகிறது → உள் விட்டம், வெளி விட்டம் மற்றும் தடிமன் ஆகியவற்றிற்காக CNC வைர அரைத்தல் செய்யப்படுகிறது → 10 μm அல்லது அதற்கும் குறைவான தட்டையான தன்மையை அடைய மெருகூட்டப்படுகிறது → மீயொலி மூலம் சுத்தம் செய்யப்படுகிறது → 100% CMM பரிசோதனை செய்யப்படுகிறது. Ra ≤0.4 μm என்ற மேற்பரப்புப் பூச்சு, துகள் ஒட்டுதலைக் குறைக்கிறது.

தரக் கட்டுப்பாடு:

• · 100% பரிமாண ஆய்வு (உள் விட்டம், வெளி விட்டம், தடிமன், இணைகோட்டுத்தன்மை)
• · நுண் விரிசல்களுக்கான சாய ஊடுருவல் சோதனை (விரிசல்கள் அனுமதிக்கப்படாது)
• · 20× நுண்ணோக்கியின் கீழ் காட்சி ஆய்வு — சிதைவுகள், வெற்றிடங்கள் அல்லது நிறமாற்றம் இல்லை
• · ASTM D149 தரநிலையின்படி மின்காப்பு வலிமை சோதனை (மாதிரி எடுத்தல்)

சிலிக்கான் அல்லது குவார்ட்ஸ் ஃபோகஸ் ரிங்குகளைக் காட்டிலும் உள்ள நன்மைகள்:

• · ஃபுளூரோகார்பன் பிளாஸ்மாவில் 5–10 மடங்கு நீண்ட ஆயுட்காலம்
• · வேஃபர்களை மாசுபடுத்தக்கூடிய, பயன்படுத்தத்தக்க அரிப்புத் துகள்கள் இல்லை.
• · அதிக மின்காப்பு வலிமை மின்வில் ஏற்படுவதைத் தடுக்கிறது
• ஆயிரக்கணக்கான RF மணிநேரங்களுக்கு தட்டையான தன்மையையும் பரிமாணத் துல்லியத்தையும் பராமரிக்கிறது.

மாற்றுப் பொருள் — இட்ரியா-நிலைப்படுத்தப்பட்ட சிர்கோனியா (ZrO)₂):

அதிக முறிவுத் திண்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு (எ.கா., அடிக்கடி வெப்பச் சுழற்சி அல்லது இயந்திர அதிர்ச்சிக்கு உள்ளாகும் அறைகள்), ZrO₂ ஃபோகஸ் வளையங்கள் (அடர்த்தி 6.03 கி/செ.மீ³, வளைவு வலிமை 1000 MPa, முறிவுத் திண்மை 5–8 MPa·மீ¹/²) கிடைக்கின்றன. இருப்பினும், அலுமினா சிறந்த செலவு-திறனை வழங்குகிறது மற்றும் பெரும்பாலான ஃபோகஸ் வளையப் பயன்பாடுகளுக்கு இதுவே தொழில்துறை தரநிலையாக உள்ளது.

தனிப்பயனாக்கம்:

• வாடிக்கையாளர் வரைபடத்தின்படி படி வடிவங்கள், எதிர் துளைகள் அல்லது பொருத்தும் துளைகள்
• · மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான Y₂O₃ பூச்சு (தடிமன் 20–100 μm)
• · பாக எண், தேதிக் குறியீடு அல்லது சீரமைப்பு குறிகளை லேசர் மூலம் குறித்தல்

குறிப்பு:அனைத்துத் தரவுகளும் வழங்கப்பட்ட Al₂O₃ பண்பு அட்டவணையைத் துல்லியமாகப் பின்பற்றுகின்றன. ZrO₂ விவரக்குறிப்புகளுக்கு, வழங்கப்பட்ட சிர்கோனியா தரவுத்தாளைப் பார்க்கவும். ஃபோகஸ் ரிங் வடிவமைப்புகளுக்குக் காப்புரிமை அனுமதி தேவைப்படலாம் — அறிவுசார் சொத்துரிமைகளைச் சரிபார்ப்பது வாடிக்கையாளர்களின் பொறுப்பாகும்.