பெர்னூலி செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் — மெல்லிய மற்றும் உடையக்கூடிய வேஃபர்களுக்கான தொடுதலில்லாத வேஃபர் கையாளுதல்

செயின்ட்.செராவின் பெர்னூலி செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், வேஃபர்களை நேரடித் தொடர்பு இல்லாமல் கையாள காற்றியக்கவியல் தூக்குவிசையைப் பயன்படுத்துகிறது. உயர் தூய்மையான 99.8% அலுமினா (Al₂O₃) அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஆகியவற்றிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இது, எண்ட் எஃபெக்டருக்கும் வேஃபருக்கும் இடையில் ஒரு மெல்லிய காற்றுப் படலத்தை உருவாக்க, அழுத்தப்பட்ட வாயுவை வெளியேற்றும் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட முனைகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த நேரடித் தொடர்பற்ற கொள்கை, பின்புற மாசுபடுதல், விளிம்பு சிதைவு மற்றும் மேற்பரப்பு சேதம் ஆகியவற்றை நீக்குகிறது, இதனால் இது மெல்லிய (≤100 μm), உடையக்கூடிய அல்லது வளைந்த வேஃபர்களுக்கு மிகவும் ஏற்றதாக அமைகிறது. இந்த செராமிக் அடித்தளம் அதிக வளைவு வலிமை (Al₂O₃-க்கு 361 MPa; SiC-க்கு 550–600 MPa வரை), குறைந்த எடை மற்றும் சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது அதிவேக வேஃபர் பரிமாற்ற ரோபோக்களில் மீண்டும் மீண்டும் நிலைநிறுத்துவதை உறுதி செய்கிறது.

பொருட்கள் குறித்த குறிப்பு:அதன் சிறந்த கடினத்தன்மை, மின் காப்பு, வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் செலவுத் திறன் ஆகியவற்றின் காரணமாக, குறைக்கடத்தி வேஃபர் கையாளுதலில் செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர்களுக்கு அலுமினா (Al₂O₃) மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருளாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறன், அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் மிகவும் சவாலான பயன்பாடுகளுக்கு இன்னும் சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இட்ரியா-நிலைப்படுத்தப்பட்ட சிர்கோனியா (ZrO₂) அறை வெப்பநிலையில் அதிக முறிவு உறுதித்தன்மையை வழங்கினாலும், அதன் அதிக அடர்த்தி மற்றும் மாறுபட்ட வெப்ப விரிவாக்கப் பண்புகள் காரணமாக இந்தப் பயன்பாட்டில் இது குறைவாகவே பயன்படுத்தப்படுகிறது; விதிவிலக்கான முறிவு உறுதித்தன்மை தேவைப்படும் குறிப்பிட்ட சூழ்நிலைகளுக்கு இது பரிசீலிக்கப்படலாம். பொருள் தேர்வு வழிகாட்டுதலுக்கு எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழுவை அணுகவும்.

விவரக்குறிப்புகள்(99.8% செயற்கை நுண்ணறிவை அடிப்படையாகக் கொண்டது)₂O₃):

செயல்பாட்டுக் கொள்கை:

அழுத்தப்பட்ட காற்று அல்லது நைட்ரஜன் (0.2–0.6 MPa) உள் வழிகள் வழியாக செலுத்தப்பட்டு, துல்லியமான முனைகள் மூலம் வெளியேறுகிறது. இந்த வேகமான காற்றோட்டம், எண்ட் எஃபெக்டருக்கு மேலே ஒரு குறைந்த அழுத்த மண்டலத்தை (பெர்னூலி விளைவு) உருவாக்குகிறது. இது, 50–200 μm இடைவெளியில் வேஃபரைத் தாங்கும் ஒரு தூக்கும் விசையை உருவாக்குகிறது. எந்த வெற்றிடத் துளைகளோ அல்லது பட்டைகளோ வேஃபரின் பின்புறத்தைத் தொடுவதில்லை.

விண்ணப்பங்கள்:

• · பின்புற அரைத்தலுக்குப் பிறகு மெல்லிய வேஃபரை (≤50 μm) கையாளுதல்
• · வளைந்த வேஃபர் போக்குவரத்து (எ.கா., CVD அல்லது அனீலிங்கிற்குப் பிறகு)
• · சூரிய மின்கலம் மற்றும் LED சபையர் அடி மூலக்கூறு பரிமாற்றம்
• · துகள்கள் உருவாகாத தூய்மை அறை தானியக்கம்
• காட்சி அமைப்பு உற்பத்தியில் கண்ணாடித் தகடுகளைக் கையாளுதல்

உற்பத்தி செயல்முறை:

உயர் தூய்மைப் பொடியிலிருந்து உருக்கி உருவாக்கப்பட்ட பீங்கான் அடித்தளம் → வாயு வழித்தடங்கள் மற்றும் முனைத் துளைகளை (விட்டம் 0.3–1.0 மிமீ, சகிப்புத்தன்மை ±0.01 மிமீ) 5-அச்சு CNC இயந்திர வேலைப்பாடு மூலம் செதுக்குதல் → Ra ≤0.4 μm அளவிற்கு மேற்பரப்பை மெருகூட்டுதல் → மீயொலி மூலம் சுத்தம் செய்தல் → ஹீலியம் கசிவு சோதனை (வாயு வழித்தடங்கள்). பூச்சு எதுவும் தேவையில்லை — வெறும் பீங்கான் மேற்பரப்பு வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது மற்றும் மாசுபடுத்தாதது.

தரக் கட்டுப்பாடு:

• · முனை நிலைகள், கைப்பிடியின் நீளம் மற்றும் தட்டையான தன்மை ஆகியவற்றின் 100% பரிமாண ஆய்வு (CMM)
• · காற்று ஓட்டச் சீரான தன்மைச் சோதனை: அனைத்து முனைகளிலும் அழுத்தக் குறைவு ≤5%
• · கசிவு சோதனை: வாயு வழித்தடங்கள் 0.6 MPa அழுத்தத்தில் அடைக்கப்பட்டுள்ளன, 30 வினாடிகளுக்கு மேல் அழுத்தக் குறைவு இல்லை.
• · 20× நுண்ணோக்கியின் கீழ் நுண் விரிசல்கள் அல்லது துருத்தல்கள் உள்ளதா எனப் பார்வை மூலம் ஆய்வு செய்தல்

Aவழக்கமான காண்டாக்ட் எண்ட் எஃபெக்டர்களை விட நன்மைகள்:

• · வேஃபரின் பின்புறத்தில் மாசுபடுதல் இல்லை — இயந்திரத் தொடர்பு இல்லை
• · மெல்லிய வேஃபர்களின் விளிம்புகளில் சிதைவோ உடைவோ ஏற்படாது
• · நிலையான இடைவெளியுடன் வளைந்த வேஃபர்களை (1 மிமீ வளைவு வரை) கையாளும்
• · வெற்றிட ஜெனரேட்டர் மற்றும் நுண்துளை சக் பராமரிப்பை நீக்குகிறது
• · பீங்கான் கட்டமைப்பு தேய்மானம் மற்றும் இரசாயனத் தாக்குதலை எதிர்க்கிறது.

தனிப்பயனாக்கம்:

• · 200 மிமீ, 300 மிமீ, அல்லது வாடிக்கையாளரின் தேவைக்கேற்ப வடிவமைக்கப்படும் வேஃபர் அளவுகளில் கிடைக்கும்.
• · வாயு முனை வடிவங்கள்: நேரான, கோணமான, அல்லது சுழல் வகைகள்
• · மூலப்பொருட்கள்: அலுமினா (தரநிலை) அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு (அதிகபட்ச வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பிற்காக)
• · OEM வரைபடத்தின்படி கைப்பிடியின் நீளம், பொருத்தும் விளிம்பு மற்றும் வாயுத் துளையின் அமைவிடம்

வரம்புகள்:

பெர்னூலி கொள்கை செயலாக்கம் (முனை வடிவமைப்பு, காற்று இடைவெளி) வழங்கப்பட்ட பொருள் பண்பு அட்டவணைகளின் வரம்பிற்கு அப்பாற்பட்டது. மேலே உள்ள இயந்திரவியல் மற்றும் வெப்பப் பண்புகள், 99.8% Al₂O₃-க்காக வழங்கப்பட்ட தரவுத்தாள்களைக் கண்டிப்பாகப் பின்பற்றுகின்றன. இந்தப் பொருள் பண்புகளின் அடிப்படையில், அழுத்தப்பட்ட வாயு ஓட்டத்தின் கீழ் பீங்கானின் செயல்திறன் குறைவு எதுவும் எதிர்பார்க்கப்படவில்லை. வாயு ஓட்டத்திற்கு உணர்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் தகடுகளுக்கு (எ.கா., உடையக்கூடிய கட்டமைப்புகளைக் கொண்ட MEMS), வாயு அழுத்தம் மற்றும் முனை வடிவமைப்பு அதற்கேற்ப சரிசெய்யப்பட வேண்டும்.