உயர் வெப்பநிலை அறைகளை அடைப்பதற்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் சீல் வளையம்
செயின்ட் செராவின் செராமிக் சீல் ரிங், எலாஸ்டோமர்கள் சிதைவடையும் கடுமையான சூழல்களில் பாலிமர் ஓ-ரிங்குகளுக்கு மாற்றாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இந்த உறுதியான சீல் ரிங், நிலையான சீலிங் பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது — பொதுவாக ஒரு மென்மையான உலோகம் அல்லது கிராஃபைட் கேஸ்கெட்டுடன் இணைக்கப்பட்டு — 800°C வரையிலான வெப்பநிலையிலும், தீவிரமான பிளாஸ்மா அல்லது இரசாயன சூழல்களிலும் நம்பகமான வெற்றிடம் அல்லது வாயுத் தடுப்பை வழங்குகிறது. இந்த பொருள் வாயு வெளியேற்றம் அற்ற தன்மை, உயர் அமுக்க வலிமை (அடிப்படை வளைவு வலிமை 361 MPa), மற்றும் இரசாயன மந்தத்தன்மை (HF தவிர ஹாலோஜன்கள், அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது) ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. துல்லியமாக மெருகூட்டப்பட்ட சீலிங் பரப்புகள் (தட்டைத்தன்மை ≤5 μm, மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு Ra ≤0.2 μm) இணையும் உலோகம் அல்லது செராமிக் பாகங்களுடன் கசிவு இல்லாத தொடர்பை உறுதி செய்கின்றன.
விவரக்குறிப்புகள்(99.8% செயற்கை நுண்ணறிவை அடிப்படையாகக் கொண்டது)₂O₃):
| சொத்து | மதிப்பு |
| பொருள் | 99.8% அலுமினா (ஐவரி) |
| அடர்த்தி | 3.93 கி/செமீ³ |
| நீர் உறிஞ்சுதல் | 0% |
| வளைவு வலிமை | 361 MPa |
| அழுத்த வலிமை (மதிப்பீடு) | >2000 MPa |
| விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 16 ஜிபிஏ |
| வெப்ப விரிவாக்கம் (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | 800°C (காற்று), 1600°C (மந்தநிலை) |
| மேற்பரப்பு பூச்சு (சீல் செய்யும் பகுதி) | Ra ≤0.2 μm (தேய்க்கப்பட்ட) |
| சமதளத்தன்மை (25 மி.மீ.க்கு) | ≤5 μm |
| ஹீலியம் கசிவு விகிதம் | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (பொருத்தமான கேஸ்கெட்டுடன்) |
விண்ணப்பங்கள்:
- · குறைக்கடத்தி செயல்முறை அறை நிலைமின் முத்திரைகள் (CVD, PVD, etch)
- · உயர் வெப்பநிலை உலை கதவு முத்திரைகள்
- · வெற்றிட ஊடுசெலுத்தும் விளிம்புகள்
- · இரசாயன வினைக்கலன் மூடுதல்கள்
உற்பத்தி செயல்முறை:
ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் → 1600°C-ல் உருக்கி இணைத்தல் → மிகவும் தட்டையான, மென்மையான சீல் செய்யும் பரப்புகளை அடைவதற்காகத் துல்லியமான இருபக்க மெருகூட்டல் → விளிம்புச் சரிவு செய்தல் → மீயொலி சுத்தம் செய்தல். ஒவ்வொரு வளையமும் ஒரு தரமான உலோக கேஸ்கெட்டுடன், ஹீலியம் கசிவு கண்டறியும் கருவியில் 100% கசிவு சோதனை செய்யப்படுகிறது.
தரக் கட்டுப்பாடு:
- · CMM பரிமாணச் சரிபார்ப்பு (உள் விட்டம், வெளி விட்டம், தடிமன், இணைகோட்டுத்தன்மை)
- · Ra மற்றும் அலைத்தன்மைக்கான மேற்பரப்பு விவரமானி
- · ஒளியியல் தட்டையைப் பயன்படுத்தி தட்டையான தன்மையை அளவிடுதல்
- · ஹீலியம் கசிவு சோதனை (பின் அழுத்த முறை)
பாலிமர் ஓ-ரிங்குகளைக் காட்டிலும் உள்ள நன்மைகள்:
- FFKMக்கு 800°C எதிராக <300°C தாங்கும்
- · வாயு வெளியேற்றம் இல்லை — வெற்றிடச் சூழலில் மாசுபடுதல் இல்லை
- · அனைத்து பிளாஸ்மா வேதியியல்களையும் (ஃபுளோரின், குளோரின், ஆக்ஸிஜன்) எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது
- · அழுத்தத்தால் நிலைபெறுதல் அல்லது நிரந்தர உருக்குலைவு ஏற்படாது
- · தூய்மையான சூழல்களில் வரம்பற்ற சேவை ஆயுள்
வரம்புகள் (விமர்சனக் குறிப்புகள்):
- · ஓ-ரிங் அல்லஇது ஒரு கடினமான பீங்கான் வளையம் ஆகும், இதை இறுக்கமாக மூடுவதற்கு மென்மையான கேஸ்கெட் (செம்பு, அலுமினியம் அல்லது கிராஃபைட்) தேவைப்படுகிறது.
- · இயக்க அசைவையோ அல்லது பெரிய விளிம்புப் பொருத்தமின்மையையோ தாங்காது.
- பாலிமர் ஓ-ரிங்குகளை விட ஆரம்பச் செலவு அதிகம், ஆனால் நீண்ட ஆயுட்காலம் பராமரிப்புச் செலவைக் குறைக்கிறது.
- · உடையக்கூடியது — கவனமாகக் கையாளவும்; கூர்முனையில் மோதுவதையோ அல்லது வளைக்கும் அழுத்தத்தையோ தவிர்க்கவும்.
குறிப்பு:மேலே உள்ள தரவுகள், வழங்கப்பட்ட Al₂O₃ பண்பு அட்டவணையைத் துல்லியமாகப் பின்பற்றுகின்றன. எலாஸ்டோமெரிக் பொருட்களுக்கான தரவுகள் எதுவும் வழங்கப்படவில்லை. இந்தத் தயாரிப்பு ஒரு நிலையான சீல் வளையம் ஆகும், எலாஸ்டோமெரிக் ஓ-ரிங் அல்ல. இது உங்கள் பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறதா என்பதை உறுதிப்படுத்திக்கொள்ளவும்.
