உயர் வெப்பநிலை மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடிப்படையிலான வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் SiC-அடிப்படையிலான செராமிக் சக், உயர்-தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (தொகுதி S1111, SiC 99.72%, தனி Si 0.05%) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது 449 MPa அளவிடப்பட்ட வளைவு வலிமை, 3.12 MPa·m¹/² முறிவு உறுதித்தன்மை மற்றும் 457 GPa மீள் குணகம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த பொருளின் வழக்கமான வெப்பக் கடத்துத்திறன் (120–150 W/m·K) மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ஆகியவை, வெப்ப சுழற்சியின் போது விரைவான வெப்பநிலை ஏற்றத்திற்கும் குறைந்தபட்ச வேஃபர் வளைவிற்கும் வழிவகுக்கின்றன. இந்த சக்கை ஒரு நுண்துளை வெற்றிட சக்காக (சீரான வாயு ஓட்டம்) அல்லது ஒரு பள்ளம் கொண்ட நிலையான சக்காக உள்ளமைக்க முடியும். 1600–1700°C (சுமை இல்லாத நிலையில்) அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை மற்றும் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்ட இந்த சக், உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் செயலாக்கம் (அனீலிங், RTP) மற்றும் அலுமினா சக்குகள் தரம் குறையக்கூடிய தீவிரமான எட்ச் சேம்பர்களுக்கு மிகவும் உகந்ததாகும்.
விவரக்குறிப்புகள்(வழங்கப்பட்ட SiC S1111 சோதனை அறிக்கை மற்றும் வழக்கமான மதிப்புகளின் அடிப்படையில்)):
| சொத்து | மதிப்பு |
| பொருள் | SiC (99.72% SiC, 0.05% தனி Si) |
| அடர்த்தி | 3.10–3.15 கி/செ.மீ³ |
| நீர் உறிஞ்சுதல் | 0% |
| வளைவு வலிமை | 449 MPa |
| முறிவு வலிமை | 3.12 MPa·m¹/² |
| மீள் குணகம் | 457 ஜிபிஏ |
| விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 25–28 GPa |
| வெப்பக் கடத்துத்திறன் | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை (சுமை இல்லாதபோது) | 1600–1700°C |
| தட்டையான தன்மை (300 மிமீக்கு மேல்) | ≤5 μm |
| மேற்பரப்பு பூச்சு | Ra ≤0.4 μm (தேய்க்கப்பட்ட) |
விண்ணப்பங்கள்:
● உயர்-வெப்பநிலை சக்கிங் (அனீலிங், RTP, எபிடெக்சியல் வளர்ச்சி)
● அதிக ஃபுளூரின் எதிர்ப்புத்திறன் கொண்ட பிளாஸ்மா எட்ச் சக்
● சீரான வெப்பமூட்டல்/குளிரூட்டலுடன் மெல்லிய வேஃபரைக் கையாளுதல்
● தொடுதல் இல்லாத வேஃபர் ஆதரவிற்கான நுண்துளைகள் கொண்ட சக்
உற்பத்தி:
SiC சின்டரிங் → சமதளம் மற்றும் மேற்பரப்பு வடிவத்திற்கான துல்லியமான அரைத்தல் → விருப்பத்திற்கேற்ப நுண்துளை அமைப்பு உருவாக்கம் (வெற்றிட சக்கிற்காக) → லேப்பிங் → மீயொலி சுத்தம் செய்தல். ஒவ்வொரு சக்கும் அதன் சமதளத்தன்மை (லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்) மற்றும் வெற்றிடச் சீர்மை (ஃப்ளோ டெஸ்ட்) ஆகியவற்றிற்காக 100% பரிசோதிக்கப்படுகிறது.
தரக் கட்டுப்பாடு:
● CMM பரிமாணச் சரிபார்ப்பு (விட்டம், தடிமன், துளைகளின் நிலைகள்)
● ASTM தரத்தின்படி சமதளத்தன்மை அளவீடு
● ஹீலியம் கசிவு சோதனை (வெற்றிடச் சக்கரங்களுக்கு)
● தொகுதி வாரியான வளைவு வலிமை சரிபார்ப்பு (சோதனை அறிக்கையைப் பார்க்கவும்)
அலுமினா சக்ஸ்களை விட நன்மைகள்:
● அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறன் (அலுமினாவின் 32 W/m·K உடன் ஒப்பிடுகையில் 120–150) – 4 மடங்கு வேகமான வெப்பப் பரிமாற்றம்
● குறைந்த CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – வேஃபரின் வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது
● மேம்பட்ட பிளாஸ்மா எதிர்ப்புத்திறன் – ஃப்ளோரின் அரிப்பில் 10 மடங்கு நீண்ட ஆயுட்காலம்
● அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை (அலுமினாவின் 800°C உடன் ஒப்பிடுகையில் 1600°C)
தனிப்பயனாக்கம்:
● நுண்துளைகள் அல்லது பள்ளங்கள் உள்ள மேற்பரப்பு
● விட்டம் 100–450 மிமீ, வட்டம் அல்லது சதுரம்
● விளிம்பு சீல் வளையம் அல்லது மண்டல வெற்றிடப் பிரிப்பான்கள்
● அதிக உறுதியான பொருத்துதலுக்கான உலோகப் பின்புலத் தேர்வு
மேலே உள்ள அனைத்து இயந்திரவியல் தரவுகளும் வழங்கப்பட்ட சோதனை அறிக்கையிலிருந்து (தொகுதி S1111) பெறப்பட்டவை. வெப்பம் மற்றும் கடினத்தன்மை மதிப்புகள் இந்த SiC தரத்திற்குரிய பொதுவான மதிப்புகளாகும். நுண்துளைகள் கொண்ட SiC சக்குகளுக்குக் கூடுதல் செயலாக்கம் தேவைப்படுகிறது; குறிப்பிட்ட நுண்துளைத்தன்மை மற்றும் நுண்துளை அளவு கிடைப்பது குறித்துக் கேட்டுத் தெரிந்துகொள்ளவும்.
