சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் – உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் கையாளுதலுக்கான உயர் விறைப்புத்தன்மை
St.Cera-வின் SiC செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், S1111 தொகுதிப் பொருளைப் பயன்படுத்தி, உயர்-தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC உள்ளடக்கம் 99.72%, தனி Si 0.05%) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது விதிவிலக்கான இயந்திரவியல் பண்புகளை வழங்குகிறது: வளைவு வலிமை 449 MPa (அளவிடப்பட்டது), மீள் குணகம் 457 GPa (அளவிடப்பட்டது), மற்றும் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 25–28 GPa (வழக்கமானது). இதன் குறைந்த அடர்த்தி (3.10–3.15 g/cm³, வழக்கமானது) அதிக குறிப்பிட்ட விறைப்புத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது அதிவேக வேஃபர் பரிமாற்ற ரோபோக்களுக்கு மிகவும் ஏற்றது. 120–150 W/m·K (வழக்கமானது) வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (வழக்கமானது) வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்துடன், இந்த எண்ட் எஃபெக்டர் அதிக வெப்பநிலையில் (1600–1700°C வரை, சுமை இல்லாமல்) கையாளப்படும்போது வெப்பத்தைத் திறம்பட வெளியேற்றி, பரிமாண நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது. கருப்பு/சாம்பல் நிறமும், நீர் உறிஞ்சாத தன்மையும் தூய்மை அறைக்கு ஏற்ற தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.
விவரக்குறிப்புகள்(வழங்கப்பட்ட SiC S1111 சோதனை அறிக்கை மற்றும் வழக்கமான மதிப்புகளின் அடிப்படையில்)):
| சொத்து | மதிப்பு |
| பொருள் | SiC (99.72% SiC, 0.05% தனி Si) |
| நிறம் | கருப்பு/சாம்பல் |
| அடர்த்தி | 3.10–3.15 கி/செ.மீ³ |
| நீர் உறிஞ்சுதல் | 0% |
| வளைவு வலிமை | 449 MPa (சராசரி) |
| முறிவு வலிமை | 3.12 MPa·m¹/² (சராசரி) |
| மீள் குணகம் | 457 ஜிபிஏ |
| விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 25–28 GPa |
| வெப்பக் கடத்துத்திறன் (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை (சுமை இல்லாதபோது) | 1600–1700°C |
விண்ணப்பங்கள்:
● உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் கையாளுதல் (போஸ்ட்-அனீல், RTP, எபிடாக்ஸி)
● அதிக அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன் தேவைப்படும் பிளாஸ்மா அரிப்பு அறைகள்
● அதிவேக இடமாற்ற ரோபோக்கள் (குறைந்த எடை, அதிக உறுதித்தன்மை)
உற்பத்தி:
SiC தூள் சின்டரிங் → கைப்பிடி வடிவம் மற்றும் பொருத்தும் அம்சங்களின் துல்லியமான CNC அரைத்தல் → மேற்பரப்பு மெருகூட்டல் → மீயொலி சுத்தம் செய்தல். வெற்றிடப் பயன்பாடுகளுக்கு 100% பரிமாண ஆய்வு மற்றும் ஹீலியம் கசிவு சோதனை.
தரக் கட்டுப்பாடு:
● நீளம், அகலம் மற்றும் சமதளத்தன்மை ஆகியவற்றின் CMM பரிசோதனை
● ஒவ்வொரு தொகுதிக்குமான வளைவு வலிமை சோதனை (சோதனை அறிக்கை தரநிலையின்படி)
● மேற்பரப்புக் குறைபாடுகளுக்காக நுண்ணோக்கியின் கீழ் காட்சி ஆய்வு
அலுமினா அல்லது உலோகத்தை விட நன்மைகள்:
● 2 மடங்கு அதிக மீள் குணகம் (அலுமினாவிற்கு ~380 GPa எதிராக 457 GPa) – குறைவான விலகல்
● 3 மடங்கு அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறன் – விரைவான வெப்பச் சிதறல்
● காற்றில் 1600°C-க்கும் அதிகமான வெப்பத்தைத் தாங்கக்கூடியது, அலுமினாவின் 800°C வெப்பத்தைத் தாங்கும் திறனுக்கு மாறாக.
● எஃகை விட குறைந்த அடர்த்தி – 40% எடை குறைப்பு
தனிப்பயனாக்கம்:
நீளங்கள் 150–450 மிமீ, முனை வடிவங்கள் (விளிம்புப் பிடிப்பு, பெர்னூலி, தட்டையானது), OEM வரைபடத்தின்படி பொருத்தும் விளிம்பு வடிவங்கள்.
மேலே உள்ள அனைத்து இயந்திரவியல் தரவுகளும் வழங்கப்பட்ட சோதனை அறிக்கையிலிருந்து (தொகுதி S1111) பெறப்பட்டவை. வெப்பம் மற்றும் கடினத்தன்மை மதிப்புகள் இந்த SiC தரத்திற்கான பொதுவான மதிப்புகளாகும்; தொகுதி சார்ந்த சான்றிதழுக்கு எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.
