-
அலுமினா உயர் துல்லிய பீங்கான் வளையம் பீங்கான் பாகங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
ST.CERA தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் செராமிக் சக்குகள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் – உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் கையாளுதலுக்கான உயர் விறைப்புத்தன்மை
St.Cera-வின் SiC செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், S1111 தொகுதிப் பொருளைப் பயன்படுத்தி, உயர்-தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC உள்ளடக்கம் 99.72%, தனி Si 0.05%) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது விதிவிலக்கான இயந்திரவியல் பண்புகளை வழங்குகிறது: வளைவு வலிமை 449 MPa (அளவிடப்பட்டது), மீள் குணகம் 457 GPa (அளவிடப்பட்டது), மற்றும் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 25–28 GPa (வழக்கமானது). இதன் குறைந்த அடர்த்தி (3.10–3.15 g/cm³, வழக்கமானது) அதிக குறிப்பிட்ட விறைப்புத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது அதிவேக வேஃபர் பரிமாற்ற ரோபோக்களுக்கு மிகவும் ஏற்றது. 120–150 W/m·K (வழக்கமானது) வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (வழக்கமானது) வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்துடன், இந்த எண்ட் எஃபெக்டர் அதிக வெப்பநிலையில் (1600–1700°C வரை, சுமை இல்லாமல்) கையாளப்படும்போது வெப்பத்தைத் திறம்பட வெளியேற்றி, பரிமாண நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது. கருப்பு/சாம்பல் நிறமும், நீர் உறிஞ்சாத தன்மையும் தூய்மை அறைக்கு ஏற்ற தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.
-
உயர் வெப்பநிலை மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடிப்படையிலான வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் SiC-அடிப்படையிலான செராமிக் சக், உயர்-தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (தொகுதி S1111, SiC 99.72%, தனி Si 0.05%) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது 449 MPa அளவிடப்பட்ட வளைவு வலிமை, 3.12 MPa·m¹/² முறிவு உறுதித்தன்மை மற்றும் 457 GPa மீள் குணகம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த பொருளின் வழக்கமான வெப்பக் கடத்துத்திறன் (120–150 W/m·K) மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ஆகியவை, வெப்ப சுழற்சியின் போது விரைவான வெப்பநிலை ஏற்றத்திற்கும் குறைந்தபட்ச வேஃபர் வளைவிற்கும் வழிவகுக்கின்றன. இந்த சக்கை ஒரு நுண்துளை வெற்றிட சக்காக (சீரான வாயு ஓட்டம்) அல்லது ஒரு பள்ளம் கொண்ட நிலையான சக்காக கட்டமைக்க முடியும். 1600–1700°C (சுமை இல்லாத நிலையில்) அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை மற்றும் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்ட இந்த சக், உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் செயலாக்கம் (அனீலிங், RTP) மற்றும் அலுமினா சக்குகள் தரம் குறையக்கூடிய தீவிரமான எட்ச் சேம்பர்களுக்கு மிகவும் உகந்ததாகும்.
-
குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள் பீங்கான் கேரியர்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
அதிக விறைப்புத்தன்மை கொண்ட மெருகூட்டும் பயன்பாடுகளுக்கான, உலோகப் பின்புலம் கொண்ட அலுமினா செராமிக் அரைக்கும் வளையம்
செயின்ட்.செராவின் உலோக அடிப்படையிலான அலுமினா அரைக்கும் வளையம், உயர் தூய்மை அலுமினா (99.8% Al₂O₃) செராமிக் தேய்மான அடுக்கை, துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட உலோகப் பின்புலத்துடன் (பொதுவாக அலுமினியம் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு) இணைக்கிறது. இந்த கலப்பின வடிவமைப்பு, அரைக்கும் பரப்பில் செராமிக்கின் சிறப்பான தேய்மான எதிர்ப்புத்திறனையும் வேதியியல் மந்தத்தன்மையையும் வழங்குகிறது. அதே நேரத்தில், உலோக அடித்தளம் இயந்திர வலிமை, எளிதான பொருத்துதல் மற்றும் எளிதில் உடையக்கூடிய முறிவுக்கு எதிரான எதிர்ப்புத்திறனைச் சேர்க்கிறது. இந்த அலுமினா அடுக்கு 361 MPa வளைவு வலிமை, 16 GPa விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை மற்றும் 800°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த உலோக அடித்தளமானது, லேப்பிங் இயந்திரங்கள், பிளானட்டரி கிரைண்டர்கள் மற்றும் CMP உபகரணங்களில் ஒருங்கிணைப்பதற்காக, பொருத்தும் துளைகள், நிலைநிறுத்தும் முள்கள் அல்லது காந்தப் பண்புகளுடன் தனிப்பயனாக்கப்படுகிறது.
-
குறைக்கடத்தி ஆய்வு நிலைய உபகரணங்களுக்கான பீங்கான் உதிரி பாகங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
Al2O3 செராமிக் வேஃபர் சக்கின் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட செயலாக்கம்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
ST.CERA தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி உபகரண பீங்கான் தகடு
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
300 மிமீ வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கான 12-அங்குல அலுமினா வெற்றிட சக்
செயின்ட் செராவின் 12-அங்குல வெற்றிடச் சக்கரம், 300 மிமீ வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்காக 99.8% உயர்-தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தச் சக்கரம், 300 மிமீ விட்டம் முழுவதும் சீரான வெற்றிடப் பரவலை உறுதி செய்வதற்காக, நுண்ணிய பள்ளங்கள் கொண்ட மேற்பரப்பைக் (பள்ளங்களின் அகலம் 0.5–1.0 மிமீ, இடைவெளி 2–3 மிமீ) கொண்டுள்ளது. இதன் தட்டையான தன்மை 5 μm-க்குள் பராமரிக்கப்படுவதால், வெட்டுதல், பின்புற அரைத்தல் மற்றும் ஆய்வு செய்தல் போன்ற செயல்பாடுகளின் போது வளைவு இல்லாத வேஃபர் நிலைநிறுத்தலைச் சாத்தியமாக்குகிறது. இந்தப் பொருளின் உயர் வளைவு வலிமை (361 MPa) மற்றும் கடினத்தன்மை (16 GPa) ஆகியவை, மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் வெற்றிடச் சுழற்சிகளின் கீழும் நீண்ட காலப் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கின்றன.
-
ஒருங்கிணைந்த வெற்றிடக் குழாய்களுடன் கூடிய அலுமினா செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர்
செயின்ட்.செராவின் அலுமினா வெற்றிட எண்ட் எஃபெக்டர், துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வெற்றிடக் கால்வாய்களையும் உறிஞ்சும் துளைகளையும் 99.8% உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா அமைப்பில் நேரடியாக ஒருங்கிணைக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு வெளிப்புற வெற்றிடப் பட்டைகளை நீக்கி, சீரான பிடிப்பு விசையுடன் நேரடியாக வேஃபரைப் பிடிக்க உதவுகிறது. இந்த பொருளின் உயர் வளைவு வலிமை (361 MPa) மற்றும் கடினத்தன்மை (16 GPa) ஆகியவை, தொடர்ச்சியான வெற்றிடச் சுழற்சிகளின் கீழ் நீண்ட கால பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. பட்டைப் பகுதி முழுவதும் 10 μm-க்குள் தட்டையான தன்மை பராமரிக்கப்படுவதால், வேஃபரில் அழுத்தம் மற்றும் உடைப்பு தடுக்கப்படுகிறது. OEM ரோபோ கைகளுடன் எளிதாக ஒருங்கிணைப்பதற்காக, வெற்றிடத் துளைகள் பின்புற மவுண்டிங் ஃபிளேன்ஜில் அமைந்துள்ளன.
-
நிலைமின் உணர்திறன் கொண்ட வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கான ESD-பாதுகாப்பான அலுமினா செராமிக் பாகங்கள்
St.Cera-வின் ESD (நிலைமின் வெளியேற்றம்) பாதுகாப்பான அலுமினா செராமிக் பாகங்கள், 99.8% உயர்-தூய்மையான Al₂O₃-இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. இவை, ஒரு தனியுரிம டோப்பிங் அல்லது பூச்சு செயல்முறையின் மூலம் அடையப்படும் 10⁶–10⁹ Ω/sq என்ற பிரத்யேக மேற்பரப்பு மின்தடையைக் கொண்டுள்ளன. இந்தப் பாகங்கள் நிலைமின் மின்னூட்டத்தை திறம்பட சிதறடித்து, உணர்திறன் மிக்க குறைக்கடத்தி வேஃபர்கள் மற்றும் சாதனங்களுக்கு ஏற்படும் நிலைமின் சேதத்தைத் தடுக்கின்றன. இதன் மூலப்பொருள் அதன் உயர் வளைவு வலிமை (361 MPa), கடினத்தன்மை (16 GPa) மற்றும் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m) ஆகியவற்றைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது. ESD-பாதுகாப்பான செராமிக் பாகங்களில் எண்ட் எஃபெக்டர்கள், லிஃப்ட் பின்கள், கைடு ரெயில்கள் மற்றும் FAB ஆட்டோமேஷனுக்கான பிரத்யேக ஃபிக்ஸ்ச்சர்கள் ஆகியவை அடங்கும்.
