-
வேஃபர் கையாளுதலுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் ரோபோ கை
செயின்ட் செராவின் அலுமினா செராமிக் ரோபோ கை, 99.8% உயர் தூய்மையான Al₂O₃ (அலுமினா) கொண்டு துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது விதிவிலக்கான வளைவு வலிமை (361 MPa), அதிக கடினத்தன்மை (16 GPa) மற்றும் குறைந்த அடர்த்தி (3.93 g/cm³) ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைத்து, குறைக்கடத்தி வேஃபர் பரிமாற்றத்திற்காக எடை குறைந்த அதே சமயம் உறுதியான ஒரு கையை உருவாக்குகிறது. இந்த பொருளின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (7.2×10⁻⁶/°C) சிலிக்கானுடன் நெருக்கமாகப் பொருந்துவதால், செயலாக்கத்தின் போது ஏற்படும் வெப்பப் பொருத்தமின்மை குறைக்கப்படுகிறது.
-
பெர்னூலி செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் — மெல்லிய மற்றும் உடையக்கூடிய வேஃபர்களுக்கான தொடுதலில்லாத வேஃபர் கையாளுதல்
செயின்ட்.செராவின் பெர்னூலி செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், வேஃபர்களை நேரடித் தொடர்பு இல்லாமல் கையாள காற்றியக்கவியல் தூக்குவிசையைப் பயன்படுத்துகிறது. உயர் தூய்மையான 99.8% அலுமினா (Al₂O₃) அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஆகியவற்றிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் இது, எண்ட் எஃபெக்டருக்கும் வேஃபருக்கும் இடையில் ஒரு மெல்லிய காற்றுப் படலத்தை உருவாக்க, அழுத்தப்பட்ட வாயுவை வெளியேற்றும் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட முனைகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த நேரடித் தொடர்பற்ற கொள்கை, பின்புற மாசுபடுதல், விளிம்பு சிதைவு மற்றும் மேற்பரப்பு சேதம் ஆகியவற்றை நீக்குகிறது, இதனால் இது மெல்லிய (≤100 μm), உடையக்கூடிய அல்லது வளைந்த வேஃபர்களுக்கு மிகவும் ஏற்றதாக அமைகிறது. இந்த செராமிக் அடித்தளம் அதிக வளைவு வலிமை (Al₂O₃-க்கு 361 MPa; SiC-க்கு 550–600 MPa வரை), குறைந்த எடை மற்றும் சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது அதிவேக வேஃபர் பரிமாற்ற ரோபோக்களில் மீண்டும் மீண்டும் நிலைநிறுத்துவதை உறுதி செய்கிறது.
-
டெஃப்லான் பூசப்பட்ட செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் – நுட்பமான வேஃபர் கையாளுதலுக்கான ஒட்டாத மேற்பரப்பு
செயின்ட்.செராவின் டெஃப்லான் (PTFE) பூசப்பட்ட செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், அதிக வலிமை கொண்ட அலுமினா அடிதளத்தை, சீரான மற்றும் குறைந்த உராய்வு கொண்ட PTFE பூச்சுடன் (தடிமன் 15–30 μm) இணைக்கிறது. இந்தப் பூச்சு, மிகக் குறைந்த உராய்வுக் குணகம் (≤0.1), சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் ஒட்டாத பண்புகளை வழங்குகிறது. இது வேஃபர் ஒட்டுவதைத் தடுத்து, பின்புற அசுத்தத்தையும் நீக்குகிறது. இதன் அடிப்படையான செராமிக் அடிதளம் (99.8% Al₂O₃), அதிக வளைவு வலிமை (361–1000 MPa), தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் 260°C வரை (பூச்சின் வரம்பு) வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த எண்ட் எஃபெக்டர், மென்மையான, மெல்லிய அல்லது ஒட்டும் தன்மை கொண்ட வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கு மிகவும் ஏற்றது (உதாரணமாக, போட்டோரெசிஸ்ட் பூச்சு அல்லது இரசாயன செயல்முறைகளுக்குப் பிறகு).
