வளைந்த மற்றும் மெல்லிய வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கான, உலோகப் பின்புலம் கொண்ட நுண்துளை SiC வெற்றிட சக்.

செயின்ட்.செராவின் உலோக அடிப்படையிலான செராமிக் வெற்றிட சக், நுண்துளைகள் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செராமிக் அடுக்கை, துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட உலோக அடித்தளத்துடன் (அலுமினியம் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு) இணைக்கிறது. நுண்துளைகள் கொண்ட SiC பொருள் (நீல-கருப்பு, நுண்துளைத்தன்மை 35–40%, துளை அளவு 20–30 μm, ஊடுருவுத்தன்மை 60 ml/cm²·min) முழு வேஃபர் மேற்பரப்பிலும் சீரான, மென்மையான வெற்றிடப் பரவலை வழங்குகிறது. இது விளிம்பு அடையாளங்களைத் தவிர்த்து, மெல்லிய (≤100 μm) அல்லது வளைந்த வேஃபர்களுக்குத் தொடுதல் இல்லாத ஆதரவை வழங்குகிறது. SiC அடுக்கு குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் மிதமான வளைவு வலிமை (32–35 MPa) ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. உலோக அடித்தளம் கட்டமைப்பு உறுதித்தன்மை, திருகு துளைகள் வழியாக எளிதாகப் பொருத்துதல் மற்றும் எளிதில் உடையக்கூடிய முறிவுக்கு எதிரான பாதுகாப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. சீரான வெற்றிடம் மற்றும் வெப்ப இணக்கத்தன்மை மிக அவசியமான பின்புற அரைத்தல், சிறு துண்டுகளாக்குதல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் செயலாக்கம் போன்ற பணிகளுக்கு இந்த சக் மிகவும் ஏற்றது.

விவரக்குறிப்புகள் (வழங்கப்பட்ட நுண்துளை SiC தரவுகளின் அடிப்படையில்):

குறிப்பு: நுண்துளைகள் காரணமாக, இதன் வளைவு வலிமையானது அடர்த்தியான SiC-ஐ விடக் குறைவாக உள்ளது. உலோக அடிப்படையின் பண்புகள் பீங்கான் மேசைகளிலிருந்து பெறப்பட்டவை அல்ல.

விண்ணப்பங்கள்:

• · மெல்லிய வேஃபர்களின் (≤100 μm) பின்புற அரைத்தல்
• · சிறு துண்டுகளாக வெட்டுவதற்காக வளைந்த வேஃபரை பொருத்துதல்
• · உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் சக்கிங் (1000°C வரை)
• · நுண்துளைகள் கொண்ட அல்லது உடையக்கூடிய அடி மூலக்கூறுகளுக்கான வெற்றிட நிலைநிறுத்தி

உற்பத்தி:

நுண்துளைகள் கொண்ட SiC தகடு (துளைகளை உருவாக்கும் பொருட்களால் உருவாக்கப்பட்டு, உருக்கி இணைக்கப்பட்டது) → 10 μm அல்லது அதற்கும் குறைவான சமதளத்திற்கு மெருகேற்றப்பட்டது → வெற்றிடத் துளைகள் மற்றும் பொருத்தும் அம்சங்களுடன் இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்ட உலோக அடித்தளம் → எப்பாக்சி பிணைப்பு அல்லது இயந்திர இறுக்கம் → ஹீலியம் கசிவு சோதனை.

தரக் கட்டுப்பாடு:

• · நுண்துளைத்தன்மை மற்றும் நுண்துளை அளவு SEM மூலம் சரிபார்க்கப்பட்டது.
• · ஊடுருவுத்தன்மை சோதனை (காற்று ஓட்டம்)
• · லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் மூலம் அளவிடப்பட்ட தட்டையான தன்மை
• · ஹீலியம் கசிவு விகிதம் <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

வரிப்பள்ளம் கொண்ட அல்லது அடர்த்தியான செராமிக் சக்குகளை விட உள்ள நன்மைகள்:

• · வேஃபரில் குறியீடுகள் இல்லை – தனித்தனி துளைகள் இல்லாத சீரான வெற்றிடம்
• · தானாகவே சுத்தம் செய்துகொள்ளும் துளைகள் – அடைப்பு குறைதல்
• · வளைந்த வேஃபர்களைக் கையாளும் (500 μm வரை வளைவு).
• · உலோக அடித்தளம் எளிதில் உடைந்து போவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் ஒருங்கிணைப்பை எளிதாக்குகிறது.

வரம்புகள்:

• · குறைந்த வளைவு வலிமை (32–35 MPa) – தாக்கச் சுமையைத் தவிர்க்கவும்
• · இயக்க வெப்பநிலை 1000°C (துளைகள் கொண்ட SiC) ஆகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்டுள்ளது, ஆனால் இயந்திர ரீதியாக இறுக்கப்படாவிட்டால், உலோக அடிப்படையிலான எப்பாக்சி பிணைப்பின் வெப்பநிலை ≤200°C ஆகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.
• · உயர் அழுத்த வெற்றிடத்திற்கு ஏற்றதல்ல (துளைகள் கொண்ட அமைப்பு அதிகபட்ச வெற்றிட வேறுபாட்டைக் கட்டுப்படுத்துகிறது)

தனிப்பயனாக்கம்:

• · உலோக அடிப்படை: அலுமினியம் (இலகுவானது), துருப்பிடிக்காத எஃகு (அரிப்பைத் தடுக்கும்), இன்வார் (குறைந்த விரிவாக்கம்)
• · பிணைப்பு: எப்பாக்சி (≤200°C) அல்லது இயந்திரப் பிணைப்பு (500°C வரை)
• · மண்டல வெற்றிடக் கட்டுப்பாட்டிற்கான விளிம்பு சீல் வளையம்

தயவுசெய்து கவனிக்கவும்: நுண்துளைகள் காரணமாக, வழங்கப்படும் வளைவு வலிமையானது (32–35 MPa), அடர்த்தியான பீங்கான்களை விடக் கணிசமாகக் குறைவாக உள்ளது. விளிம்பு சிதைவதைத் தவிர்க்க, கவனமாகக் கையாளவும்.