உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் தகடு – காப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சாதனங்களுக்கு
செயின்ட் செராவின் செராமிக் தகடு, 99.8% உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m), 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. 100 மிமீ நீளத்திற்கு ≤5 μm தட்டையான தன்மையையும், Ra ≤0.4 μm மேற்பரப்பு சொரசொரப்பையும் அடைவதற்காக, இந்தத் தகடுகள் துல்லியமாக மெருகூட்டப்படுகின்றன. 1 மிமீ முதல் 20 மிமீ வரையிலான நிலையான தடிமன்களிலும், 500×500 மிமீ வரையிலான தனிப்பயன் அளவுகளிலும் இவை கிடைக்கின்றன. மின் காப்பான்கள், ஹீட்டர் தளங்கள், அறை உறைகள் மற்றும் வெற்றிடச் சக் அடிதளங்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
விவரக்குறிப்புகள் (99.8% Al₂O₃-ஐ அடிப்படையாகக் கொண்டது):
| சொத்து | மதிப்பு |
| பொருள் | 99.8% அலுமினா (ஐவரி) |
| அடர்த்தி | 3.93 கி/செமீ³ |
| வளைவு வலிமை | 361 MPa |
| மின்காப்பு வலிமை | 15×10⁶ V/m |
| குறிப்பிட்ட எதிர்ப்பு | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| வெப்பக் கடத்துத்திறன் | 32 W/m·k |
| வெப்ப விரிவாக்கம் (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | 1600°C |
| சமதளத்தன்மை (100 மி.மீ.க்கு) | ≤5 μm |
| தடிமன் சகிப்புத்தன்மை | ±0.05 மிமீ |
| மேற்பரப்பு கரடுமுரடு | Ra ≤0.4 μm |
விண்ணப்பங்கள்:
- உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களில் உள்ள மின் காப்புத் தகடுகள்
- · பரவல் உலைகளில் உள்ள வெப்பமூட்டி ஆதரவுத் தகடுகள்
- · CVD/PVD-க்கான அறை லைனர்கள்
- · வெற்றிட சக்குகளுக்கான அடித்தளத் தகடுகள்
நன்மைகள்:
- · 0% நீர் உறிஞ்சுதல் – வெற்றிடத்தில் வாயு வெளியேற்றம் இல்லை
- · வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது – அமிலங்கள் மற்றும் ஹாலோஜன்களை (HF தவிர) எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது.
தனிப்பயனாக்கம்:
துளைகள், வெட்டுக்கள், விளிம்பு வட்டமாக்கல் மற்றும் உலோகப் பூச்சு சேவைகள் கிடைக்கும்.








