பாரம்பரிய Al2O3 மற்றும் BeO அடி மூலக்கூறு பொருட்கள், அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) பீங்கான், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட விரிவான செயல்திறன் நன்மைகள் இணைந்து (monocrystal இன் தத்துவார்த்த வெப்ப கடத்துத்திறன் 275W/m▪k, பாலிகிரிஸ்டலின் தத்துவார்த்த கடத்துத்திறன் 70~20 ) , குறைந்த மின்கடத்தா மாறிலி, ஒற்றை படிக சிலிக்கானுடன் பொருந்திய வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் மற்றும் நல்ல மின் காப்புப் பண்புகள், மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் சர்க்யூட் அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் பேக்கேஜிங்கிற்கு சிறந்த பொருளாகும்.நல்ல உயர் வெப்பநிலை இயந்திர பண்புகள், வெப்ப பண்புகள் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை காரணமாக அதிக வெப்பநிலை கட்டமைப்பு பீங்கான் கூறுகளுக்கு இது ஒரு முக்கியமான பொருளாகும்.
AlN இன் தத்துவார்த்த அடர்த்தி 3.26g/cm3, MOHS கடினத்தன்மை 7-8, அறை-வெப்பநிலை எதிர்ப்புத் திறன் 1016Ωmக்கு அதிகமாக உள்ளது, மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கம் 3.5×10-6/℃ (அறை வெப்பநிலை 200℃).தூய AlN மட்பாண்டங்கள் நிறமற்றவை மற்றும் வெளிப்படையானவை, ஆனால் அவை அசுத்தங்கள் காரணமாக சாம்பல், சாம்பல் வெள்ளை அல்லது வெளிர் மஞ்சள் போன்ற பல்வேறு வண்ணங்களாக இருக்கும்.
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கூடுதலாக, AlN மட்பாண்டங்கள் பின்வரும் நன்மைகள் உள்ளன:
1. நல்ல மின் காப்பு;
2. Al2O3 மற்றும் BeO போன்ற பொருட்களை விட சிலிக்கான் மோனோகிரிஸ்டலுடன் ஒத்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்;
3. உயர் இயந்திர வலிமை மற்றும் Al2O3 பீங்கான்களுடன் ஒத்த நெகிழ்வு வலிமை;
4. மிதமான மின்கடத்தா மாறிலி மற்றும் மின்கடத்தா இழப்பு;
5. BeO உடன் ஒப்பிடும்போது, AlN மட்பாண்டங்களின் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பநிலையால் குறைவாக பாதிக்கப்படுகிறது, குறிப்பாக 200℃க்கு மேல்;
6. உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு;
7. நச்சுத்தன்மையற்ற;
8. குறைக்கடத்தி தொழில், இரசாயன உலோகம் தொழில் மற்றும் பிற தொழில்துறை துறைகள் பயன்படுத்தப்படும்.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-14-2023